氟化物，蓝宝石真空晶体生长炉退火炉

一·氟化物，蓝宝石真空晶体生长炉退火炉设备用途 
　　主要用于LED行业的宝石类晶体，氟化物（氟化镁，氟化钙）等晶体是生长制备

二·氟化物，蓝宝石真空晶体生长炉退火炉产品特点

1·模块化设计，结构紧凑，外形美观，

2·采用底部电动升降或者钟罩式炉体升降，结构精巧，方便，移动平稳装卸料方便

3· 采用触摸屏+plc控制方式，自动化程度高，操作直观，功能强大。

4· 在触摸屏内可预存几十种烧结工艺，一次编辑，以后直接调用使用，省去多次编辑工艺的麻烦，避免输入错误，烧坏产品。

5· 烧结的温度，真空度，等数据可实时记录，也可随时启动停止记录，减少无用数据，数据可查询，可导出下载。

6· 烧结温度高，用钼丝发热体，可达1600℃，石墨发热体钨发热体可达2300℃。

7·自带水冷机，省去客户做水路工程的麻烦。

三·氟化物，蓝宝石真空晶体生长炉退火炉设备配置

1· 设备总功率：10-100kw

2·温度范围：800-2300℃

3·加热方式：石墨加热，钨丝加热 感应加热

4.测温系统： 热电偶  红外仪

5· 冷态极限真空度：6.67×10E-2Pa(机械泵+罗茨泵） 6.67×10E-3Pa(机械泵+扩散泵）5.0×10E-4Pa(机械泵+分子泵）

6· 压升率：≦2pa/h

7.坩埚升降行程： 根据晶体生长大小设计。

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

控温精度： ±0.1℃，采用欧陆温控仪表

炉内充气压力： ≤0.05MPa