出口型小型真空感应定向凝固炉

一·出口型小型真空感应定向凝固炉设备用途：

出口型小型真空感应定向凝固炉主要包括两种功能，即可用于材料的熔化提纯，也可用于材料的定向凝固。

二·出口型小型真空感应定向凝固炉设备特点：

    本设备采用立式底部升降结构，一体化设计，结构紧凑，装卸料方便，真空炉体采用石英管

三·小型真空感应定向凝固炉主要技术参数

1.加热温度：     1600℃

2.常用温度：  1400℃

3.功率：             15Kw±10%
3.冷态极限真空度：   ≤5Pa

4.坩埚尺寸：       Ф30×200mm（直径×高 ）

5.测温系统：         红外仪控温测温

6.加热方式：        高频感应加热

7.坩埚材质：石英坩埚

8.坩埚护套：氮化硼+石英陶瓷保温套

9.坩埚升降速度：位移行程 250mm（步进电机控制）

10·炉内充气压力：             ≤0.03MPa

11·充气系统：                自动充放气

四、结构组成及说明

1、石英真空腔室                   

2、炉底及升降装料机构           

3、感应加热系统及    

4、真空系统                    

5、控制系统        

6、冷却水分配系统             

三、小型真空感应定向凝固炉结构说明

1、石英真空腔室：真空密封腔室，采用石英管上下配水冷密封法兰的方式，采用径向密封的方式，上下法兰采用水冷密封法兰，保证密封性，同时也保证密封圈的受热温度在常温。炉盖水冷法兰配有真空压力表，真空抽气接口，观察窗，热偶测温装置以及放气阀、安全阀等装置。一体化设计，外形整洁美观。

2、炉底及坩埚升降机构：炉底水冷法兰与石英管腔室采用“O”圈真空密封， 

坩埚升降机构：采用步进伺服电机+精密线性模组方式，电机升降系统密封均采用焊接波纹管密封，安装方便可靠。升降杆采用空心水冷结构，上面有一坩埚托盘，用来放置熔炼坩埚及保温装置。电机控制采用PLC+触摸屏方式，速度位移按照工艺要求任意设定，保证其行走速度的稳定性和位置的准确性。用于定向凝固做晶体生长使用。

4、感应加热系统：设备加热采用感应加热的方式，有一高频感应电源配合感应线圈及线圈升降装置、坩埚及保温套组成加热系统。采用感应线圈不动，内部坩埚升降移动的方式，来实现材料晶体的熔融及定向凝固。可以用来做小量材料晶体的生长制备实验。测温采用红外实时测温，坩埚底部可预留热偶测温装置，实时显示坩埚温度。

5、真空系统：由一台机械泵配真空阀门、充气阀、放气阀组成真空系统。真空管道与泵联接采用快速接头联接（减缓震动），真空测量选用具有数字显示功能的真空计执行。

6、控制系统：采用PLC+触摸屏的方式 ，所有的动作都有PLC来完成，安全可靠。功能强大，操作方便，具有超温，上线限控制声光报警功能。控制柜面板上设有液晶触模屏，可设定长晶速度、位移等，界面清晰直观，数据可记录，查询，导出，曲线数据，历史数据可实时显示，可实时观测直观各部件的工作状态，实时记录工况。

7、水冷分配系统：由循环水机及主管道、分管路、水阀、压力报警等相关装置组成，具有断水声光报警及自动切断电源等功能。

五、成套供应范围

1.  高真空腔室                                      1套

2.  伺服升降装置                                    1套

3.  BN坩埚(护套)                                    1套

4.  热电偶                                           1支

5.  控制系统（plc+触摸屏系统）                       1套

6.产品说明书，合格证                                1份

7．循环冷水机：1P                                  1台